特許

J-GLOBAL ID：200903032034881507

機械-電気変換子、機械-電気変換子の製造方法及び加速度センサ

発明者： 杉本 雅人 ,  大土 哲郎 ,  冨田 佳宏 ,  川▲さき▼ 修
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 松田 正道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-280649
公開番号（公開出願番号）：特開平11-118823
出願日： 1997年10月14日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：

【要約】【課題】 機器に加わる衝撃や加速度を検知する加速度センサにおいて、接着剤などを介して機械-電気変換子を斜めに設置して、加速度検知方向を2軸化すると、設置角度にばらつきを生じる。そのため、結果としてセンサの感度にばらつきを生じてしまう。【解決手段】 2つの圧電体2a、2bが接合されて形成された圧電振動子1と、圧電振動子1の一方の主面の端部に形成され、一方の主面に対してあらかじめ定めた角度をなす実装装着面3aを有する支持体3と、圧電振動子の両主面に相対して形成された一対の電極4a、4bとを備える機械-電気変換子5を、実装装着面3aを実装面に密着させることによって、前記主面の前記実装面に対する傾斜が前記あらかじめ定めた角度になるように、前記実装面に装着させる。

請求項（抜粋）：

少なくとも2つの圧電体が接合されて形成された振動子と、前記振動子の少なくとも一方の主面の一部に形成され、前記一方の主面に対してあらかじめ定めた角度をなす実装装着面を有する支持体と、少なくとも前記振動子の両主面の全部または一部に相対して形成された一対の電極とを備えることを特徴とする機械-電気変換子。

IPC (3件)：

G01P 15/09 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/22

FI (3件)：

G01P 15/09 ,  H01L 41/08 Z ,  H01L 41/22 Z