X線試料表面状態評価装置

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：韮澤弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-266115
公開番号（公開出願番号）：特開平5-107203
出願日： 1991年10月15日
公開日（公表日）： 1993年04月27日
要約：

【要約】【目的】線状平行X線ビームを試料に入射させ、回折ビームの中の平行成分のみを1次元的に検出して、結晶方位等の試料表面状態を短時間に評価する。【構成】試料Sの検出面Bに直交するω軸周りの入射角ω、x軸周りの傾きχ、回折角2θを設定して、入射X線Iと回折X線Rの作る検出面B上にある細い線状の平行X線ビームIを試料Sに照射し、回折線の平行成分Rのみを1次元X線検出器Dで測定し、試料Sをy軸方向に微小移動させながら、試料S表面の2次元的情報を1次元走査だけで測定でき、測定時間が大幅に短縮できる。

請求項（抜粋）：

試料表面を含む平面を試料面とし、試料面内で直交するx軸及びy軸を定義し、x軸を含み試料面に交差し線状平行入射X線ビーム及び線状平行回折X線ビームを含む平面を検出面として、試料をy方向に移動可能でy軸がその表面のほぼ中心を通るように取り付ける試料取り付け手段を備え、検出面内において試料表面のx軸に沿う線状領域に平行X線入射ビームを照射するX線照射手段を備え、試料表面の線状X線照射領域から回折された回折X線の中、検出面内で所定の回折角2θで回折された平行Xビームのみを取り出してその1次元強度分布を検出する手段であって、原点を通り検出面に直交するω軸の周りで入射ビームに対する検出回折角2θが調節可能な1次元X線検出手段を備え、入射ビームに対するx軸の相対角度ωを調節するように、ω軸の周りで前記試料取り付け手段、X線照射手段及び1次元X線検出手段の一方又は双方の回転角を調節する第1角度調節手段を備え、さらに、試料面とω軸のなす角度χを調節するように、x軸の周りで前記試料取り付け手段、X線照射手段及び1次元X線検出手段の一方又は双方の回転角を調節する第2角度調節手段を備えてなることを特徴とするX線試料表面状態評価装置。

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