摺動部材および皮膜形成方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：萼経夫 , 中村壽夫 , 宮崎嘉夫 , 小野塚薫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-137298
公開番号（公開出願番号）：特開2004-339564
出願日： 2003年05月15日
公開日（公表日）： 2004年12月02日
要約：

【課題】DLC皮膜を破損させることなくこれに微小な凹部を設けることを可能にし、低い摩擦係数と優れた耐摩耗性とを確保する。【解決手段】アンバランスドマグネトロンスパッタリング法により、基材1の表面に、金属層4を下層とし、金属と炭素との混合層5を上層とする中間層2を積層し、中間層2の上にダイヤモンドライクカーボンの皮膜(DLC皮膜)3を形成する。DLC皮膜3を成膜する際、基材1に印加する負のバイアス電圧を150〜600Vに設定し、DLC皮膜3の表面を、直径0.5〜1.0μm、深さ10〜30nmの微小な凹部6を集合させた形状とし、該凹部6をオイル溜りとして機能させる。また、所望により固体潤滑材の皮膜をDLC皮膜上に積層し、前記凹部6のアンカー効果により固体潤滑材の皮膜とDLC皮膜との密着性を高める。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基材の表面に、スパッタリング法によりダイヤモンドライクカーボンの皮膜を形成してなる摺動部材において、前記ダイヤモンドライクカーボンの皮膜が、直径0.5〜1.0μm、深さ10〜30nmの微小な凹部を集合させた表面形状を有していることを特徴とする摺動部材。

IPC (3件)：

C23C14/06 , B32B9/00 , F16C33/12

FI (3件)：

C23C14/06 F , B32B9/00 Z , F16C33/12 Z

Fターム (34件)：

3J011DA01 , 3J011MA02 , 3J011QA04 , 3J011SE02 , 4F100AA37B , 4F100AB01A , 4F100AB01C , 4F100AT00A , 4F100AT00D , 4F100BA02 , 4F100BA03 , 4F100BA04 , 4F100BA10A , 4F100BA10B , 4F100BA10D , 4F100DD00B , 4F100EH66B , 4F100JK09 , 4F100JK16D , 4F100JM02B , 4F100JM02D , 4F100YY00B , 4K029AA02 , 4K029BA02 , 4K029BA07 , 4K029BA11 , 4K029BA17 , 4K029BA34 , 4K029BA64 , 4K029BC00 , 4K029BD04 , 4K029CA05 , 4K029CA13 , 4K029DC39

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