特許

J-GLOBAL ID：200903032053908190

カラーフィルタ基板の再生方法

発明者： 清水 秀明
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 舘野 千惠子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-259038
公開番号（公開出願番号）：特開2002-071927
出願日： 2000年08月29日
公開日（公表日）： 2002年03月12日
要約：

【要約】【課題】 カラーフィルタ層中に欠陥等が生じてカラーフィルタ基板が不良品となった場合であっても、そのカラーフィルタ基板から欠陥等が生じたカラーフィルタ層を容易に剥離して、基板の再利用を図ることが可能なカラーフィルタ基板の再生方法を提供することを目的とする。【解決手段】 半導体基板10上層部にアクリル系熱硬化性樹脂層12を介してカラーフィルタ層14を形成する際に、カラーフィルタ層14中に欠陥20等が生じてカラーフィルタ基板16が不良品となった場合、温度250〜350°C、150〜200分間の熱処理を施して、アクリル系熱硬化性樹脂層12を分解した後、水和ヒドラジンとエチレンジアミンとの混合液を用いる薬液処理を施して、アクリル系熱硬化性樹脂層12を半導体基板10から剥離することにより、欠陥20等が生じたカラーフィルタ層14が容易に剥離される。

請求項（抜粋）：

基板上に熱硬化樹脂を介してカラーフィルタ層が形成されているカラーフィルタ基板の再生方法であって、前記カラーフィルタ基板に熱処理を施して、前記熱硬化樹脂を分解し、前記基板との密着性を緩和する工程と、前記カラーフィルタ基板に薬液処理を施して、前記基板との密着性が緩和された前記熱硬化樹脂を前記カラーフィルタ層と共に前記基板から剥離する工程と、前記カラーフィルタ層及び前記熱硬化樹脂が剥離された前記基板に水洗処理を施して、前記基板表面に付着している薬液を除去する工程と、前記基板に乾燥処理を施して、前記基板表面を乾燥させる工程と、を具備することを特徴とするカラーフィルタ基板の再生方法。

Fターム (7件)：

2H048BA02 ,  2H048BA11 ,  2H048BA45 ,  2H048BB01 ,  2H048BB02 ,  2H048BB13 ,  2H048BB46