特許

J-GLOBAL ID：200903032054708151

感光性樹脂組成物及びこれを用いた層間絶縁膜

発明者： 阿部 浩一 ,  高橋 昭雄 ,  鈴木 正博
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社 ,  株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-294156
公開番号（公開出願番号）：特開平11-133605
出願日： 1997年10月27日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：

【要約】【課題】 電気特性、低吸湿性、高温における熱安定性、成形性及び接着性に優れた感光性樹脂組成物並びに電気特性、低吸湿性、高温における熱安定性を損なうことなく、接着性、成形性に優れる層間絶縁膜を提供する。【解決手段】 (A)含窒素複素環を含む繰り返し単位を有する重合体及び(B)ビスマレイミド化合物を含有してなる感光性樹脂組成物並びにこの感光性樹脂組成物を塗布、乾燥して得られる電子部品の層間絶縁膜。

請求項（抜粋）：

(A)含窒素複素環を含む繰り返し単位を有する重合体及び(B)ビスマレイミド化合物を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/038 504 ,  C08K 5/3415 ,  C08L 71/08 ,  C08L101/00 ,  H01L 21/312 ,  H01L 21/31

FI (6件)：

G03F 7/038 504 ,  C08K 5/3415 ,  C08L 71/08 ,  C08L101/00 ,  H01L 21/312 D ,  H01L 21/95

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-048310
  
• 特開昭63-048310