特許
J-GLOBAL ID：200903032057393941
リアルタイムかつナノメータスケールの位置測定方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-085935
公開番号（公開出願番号）：特開平8-082522
出願日： 1995年03月20日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：
【要約】【目的】 リアルタイムかつナノメータスケールのセンシングプローブの位置測定結果を生成する方法及び装置の提供。【構成】 原子表面や他の周期的信号を持った表面、例えばグレーティングやそれに類似したものをプローブに対して相対的に移動させながら相対的なプローブの距離および位置を測定する。プローブと表面との間にセンシングするための場を設け、プローブを正弦波状の電圧を制御することにより高速に振動させ、この振動によりセンシング場の電流によって生成された正弦波状の出力電圧の位相ならびに振幅を比較し、位置情報、最近接原子や波打った表面の一番近い峰からの距離と方向を求める。
請求項（抜粋）：
周期的信号を持った表面をその表面とプローブが相対的に移動しながら走査することにより、リアルタイムかつナノメータスケールの位置測定を行う方法であって、プローブと表面との間にセンシングするための場を設け、プローブを正弦波状の電圧を制御することによりプローブ原点の周りで既述の走査中に振動させ、この振動によりセンシング場によって生成され表面を通過した後の正弦波状の出力信号を測定し、制御電圧と出力電圧の位相ならびに振幅を比較し、そのような比較をもとに連続的な位置情報、波打った表面の一番近い峰からの距離と方向、従って表面に沿ったプローブの位置を求める方法。
IPC (4件)：
G01B 21/30
, G01B 7/34
, G01N 37/00
, H01J 37/28
