特許
J-GLOBAL ID:200903032063612850

燃料電池およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件): 曾我 道照 ,  曾我 道治 ,  古川 秀利 ,  鈴木 憲七 ,  梶並 順
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-377585
公開番号(公開出願番号):特開2004-207155
出願日: 2002年12月26日
公開日(公表日): 2004年07月22日
要約:
【課題】この発明は、単電池の直列構造体をシリコンウエハに形成するようにし、小型、高電圧を実現できる燃料電池およびその製造方法を得る。【解決手段】燃料側触媒層4、電解質膜5および酸化剤側触媒層6を積層してなる単電池106がシリコンウエハ1の表面に複数形成され、各単電池106の下部にキャビティ14が形成されている。そして、複数の単電池106は、異なる単電池106の一方の単電池106の燃料側触媒層4と他方の単電池106の酸化剤側触媒層6とがイオン非透過性の導電性材料からなるバリア層7を介して電気的に接続して直列に接続されている。そして、燃料側触媒層4および電解質膜5の酸化剤側触媒層6からの露出部が絶縁体7に埋設されている。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
シリコンウエハと、シリコンウエハの表面に互いに離間して形成された複数の多孔質シリコン、上記シリコンウエハの表面の多孔質シリコン非形成領域に形成された絶縁膜と、上記複数の多孔質シリコンのそれぞれの上に成膜された燃料側触媒層、この燃料側触媒層上に成膜された電解質膜およびこの電解質膜上に成膜された酸化剤側触媒層からなる複数の単電池と、上記シリコンウエハの各単電池形成領域の下部に裏面側から上記多孔質シリコンに至るように形成された複数のキャビティと、上記シリコンウエハの裏面に接合されて上記複数のキャビティへの燃料導入空間を形成するとともに、該燃料導入空間に燃料を導入する燃料導入口が形成された封止用キャップとを備え、 上記複数の単電池が、異なる単電池の一方の単電池の上記燃料側触媒層と他方の単電池の上記酸化剤側触媒層とをイオン非透過性の導電性材料からなるバリア層を介して電気的に接続して直列に接続され、かつ、上記燃料側触媒層および上記電解質膜の上記酸化剤側触媒層からの露出部が絶縁体に埋設されていることを特徴とする燃料電池。
IPC (2件):
H01M8/24 ,  H01M8/02
FI (3件):
H01M8/24 E ,  H01M8/24 R ,  H01M8/02 Y
Fターム (7件):
5H026AA02 ,  5H026BB00 ,  5H026BB01 ,  5H026BB04 ,  5H026BB10 ,  5H026CV06 ,  5H026EE11

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