特許

J-GLOBAL ID：200903032064855659

光学的形状測定装置

発明者： 西川 晃平 ,  赤松 勝
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 梶 良之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-064660
公開番号（公開出願番号）：特開2001-255125
出願日： 2000年03月09日
公開日（公表日）： 2001年09月21日
要約：

【要約】【課題】 噛み込み形状も圧延材の寄り形状も正確に測定し得、又、被測定物が高速移動している場合も捻転振動している場合も測定誤差が生じ難くて正確な形状測定をし得る光学的形状測定装置を提供する。【解決手段】 被測定物の周囲にスリット光投光器を複数個配置すると共に被測定物から反射されるスリット光の撮像装置を配置した光学的形状測定装置であって、前記複数個の投光器での隣同士の投光器からのスリット光が被測定物表面上で重ならないように隣同士の投光器の投光位置を変えたもの、隣同士の投光器の投光時間に差を設けて投光する機能を備えたもの、前記複数個の投光器での隣同士の投光器からのスリット光の一方のみを透過する光学的バンドパスフィルター或いは偏光フィルターを撮像装置の各々に設けたもの等。

請求項（抜粋）：

形状測定対象物の周囲に前記形状測定対象物にスリット光を投光する投光器を複数個配置すると共に前記形状測定対象物から反射されるスリット光を撮像する撮像装置を配置した光学的形状測定装置であって、前記複数個の投光器での隣同士の投光器からのスリット光が前記形状測定対象物の表面上で重ならないように隣同士の投光器の投光位置を変えて前記複数個の投光器を配置したことを特徴とする光学的形状測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ,  G01B 11/25

FI (2件)：

G01B 11/24 K ,  G01B 11/24 E

Fターム (25件)：

2F065AA49 ,  2F065AA52 ,  2F065AA53 ,  2F065BB12 ,  2F065BB15 ,  2F065DD06 ,  2F065DD14 ,  2F065FF01 ,  2F065FF02 ,  2F065FF09 ,  2F065FF49 ,  2F065GG08 ,  2F065GG23 ,  2F065HH05 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL10 ,  2F065LL22 ,  2F065LL30 ,  2F065LL34 ,  2F065MM14 ,  2F065NN08 ,  2F065QQ42