特許
J-GLOBAL ID：200903032067937540
走査型近接場光顕微鏡用の走査ステージ手段
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-276355
公開番号（公開出願番号）：特開平8-136554
出願日： 1994年11月10日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：
【要約】【目的】マッチングオイルによって汚染される心配のない走査型近接場光顕微鏡用の走査ステージ手段を提供する。【構成】試料走査手段である圧電体スキャナ112の上端には、複数個のスペーサ116を介してステージ118が固定されたステージ支持部材114が固定されている。ステージ118には中央部に四角形状のステージ開口部120が開けられている。このステージ開口部120の内側には、支持部材124に支持されたプリズム122が、その上面をわずかに低くして配置されている。支持部材124は、ステージ支持台114とステージ118の間の空間を通り、ステージ支持台114とステージ118に対して非接触に保たれている。プリズム122と支持部材124の接触面は全周にわたって充填剤126ですき間を埋められ、その外側には溝からなる油だまり128が形成されている。
請求項（抜粋）：
試料を載置する試料台が載せられるステージと、ステージを移動させるアクチュエーターと、マッチングオイルを介して試料台と光学的に結合される光学部材と、この光学部材をステージと独立に支持する支持部材と、光学部材の周辺に設けられたマッチングオイルを回収する手段とを備えている走査型近接場光顕微鏡用の走査ステージ手段。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 11/30 102
, G12B 5/00
, H01J 37/28
