特許
J-GLOBAL ID：200903032073755560
干渉計及び干渉計におけるアライメント方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-288821
公開番号（公開出願番号）：特開平11-125510
出願日： 1997年10月21日
公開日（公表日）： 1999年05月11日
要約：
【要約】【課題】 被検面の位置及び傾きが大きくズレていたり、被検面が曲率半径の大きな凹面である場合においても、容易に被検レンズのアライメントが可能な干渉計を提供する。【解決手段】 測定光を射出するレーザ光源101を備えた干渉計本体111と、レーザ光源101からの測定光の一部を反射して参照光を生成する参照レンズ112と、参照レンズ112を透過した測定光を反射して被検光を生成する被検レンズ115とを備え、参照光と被検光との干渉による干渉縞を生成して被検レンズ115の面形状等を測定する干渉計において、参照レンズ112と被検レンズ115との間に穴136aを有するスクリーン136を配置し、参照レンズ112の光軸に被検レンズ115の曲率中心を合致させ被検光を前記穴136aに通過させるようにして被検レンズ115のアライメントを行うものである。
請求項（抜粋）：
測定光を射出する光源を備えた干渉計本体と、この光源からの測定光の一部を反射して参照光を生成する参照レンズとを備え、参照レンズを透過した測定光が被検レンズで反射して生成される被検光と前記参照光との干渉による干渉縞を生成して被検レンズの面形状等を測定する干渉計において、前記干渉計本体から射出され被検レンズに照射される測定光の光軸と一致した細い光線を干渉計本体から射出することを特徴とする干渉計。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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