特許

J-GLOBAL ID：200903032082269899

圧電アクチュエータ

発明者： 芦沢 隆利
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 鎌田 久男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-199822
公開番号（公開出願番号）：特開平8-066064
出願日： 1994年08月24日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【目的】 移動体と固定部材との摩擦状態が変化しても、一回当たりの移動量がほぼ一定となり、安定した駆動を可能とする。【構成】 非対称の周波電圧波形による慣性体13の慣性力が固定部材14と移動体11との静止摩擦力よりも大きいときに、移動体11が固定部材14上を間欠的に移動する圧電アクチュエータにおいて、移動体11の一駆動波形当たりの移動量を設定する設定部25と、移動体11の一駆動波形当たりの移動量を検出する検出部22と、設定部25の設定量と検出部22の検出量とを比較し、駆動信号発生部21の駆動パラメータを変更する制御を行う制御部26とを有する。

請求項（抜粋）：

非対称の周波電圧波形を有する駆動信号を発生する駆動信号発生部と;前記駆動信号の周波電圧波形の入力により変形する電気-機械変換素子と;前記電気-機械変換素子の一端に接合され、その電気-機械変換素子の変形により慣性力を発生する慣性体と;前記電気-機械変換素子の他端に接合され、前記慣性体から慣性力を受ける移動体と;前記移動体を摺動可能に接触して、前記電気-機械変換素子と前記慣性体とは非接触である固定部材と;を含み、前記非対称の周波電圧波形による前記慣性体の慣性力が前記固定部材と前記移動体との静止摩擦力よりも大きいときに、前記移動体が前記固定部材上を間欠的に移動する圧電アクチュエータにおいて、前記移動体の一駆動波形当たりの移動量を設定する設定部と;前記移動体の一駆動波形当たりの移動量を検出する検出部と;前記設定部の設定量と前記検出部の検出量とを比較し、前記駆動信号発生部の駆動パラメータを変更する制御を行う制御部と;を有することを特徴とする圧電アクチュエータ。