特許
J-GLOBAL ID：200903032084073967
自動ワイヤボンダ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
早川 政名
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-262214
公開番号（公開出願番号）：特開平6-112261
出願日： 1992年09月30日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：
【要約】【目的】放電電極からの放電をより安定性あるものとして、ボール形成時におけるボール径のばらつきが少ない自動ワイヤボンダを提供する。【構成】Os,Ru,Pt,Rh,Pdの中から1種または2種以上を総量1〜30wt%含有せしめ、且つ、Re,W,Moの中から1種または2種以上を総量0.1 〜7wt%含有せしめ、残部IrからなるIr合金で放電電極1a及びそのヘッド部1bを形成した。
請求項（抜粋）：
ボンディング時におけるボール形成用の放電電極が、Os,Ru,Pt,Rh,Pdの中から1種または2種以上を総量1〜30wt%含有し、残部IrからなるIr合金であることを特徴とする自動ワイヤボンダ。
引用特許：
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