特許
J-GLOBAL ID：200903032089874143
流体供給装置の流量制御システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
綿貫 隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-357321
公開番号（公開出願番号）：特開平11-184531
出願日： 1997年12月25日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：
【要約】【課題】 変動する流体の必要量に好適に対応し、自動的に流量を調整することができることで応答性をよくすること。【解決手段】 供給する流体の流量の設定条件を入力する操作部32と、供給されている流体の流量を検出する流量センサ26と、外部からの信号によって開度を自動的に変えるモータバルブ34と、操作部32から出力される設定信号と流量センサ26による検出信号とを比較し、モータバルブ34の制御にかかる信号を出力する流量調整用の比較器36を備えた命令処理部40とを具備する。
請求項（抜粋）：
供給する流体の流量の設定条件を入力する操作部と、供給されている流体の流量を検出する流量センサと、外部からの信号によって開度を自動的に変える流量調整弁と、前記操作部から出力される設定信号と前記流量センサによる検出信号とを比較し、前記流量調整弁の制御にかかる信号を出力する流量調整用の比較器を備えた命令処理部とを具備することを特徴とする流体供給装置の流量制御システム。
IPC (5件)：
G05D 7/06
, F04B 49/06 321
, F16K 31/04
, F16K 31/06 340
, H01L 21/02
G05D 7/06 Z
, G05D 7/06 B
, F04B 49/06 321 Z
, F16K 31/04 K
, F16K 31/06 340
, H01L 21/02 Z
