特許

J-GLOBAL ID：200903032091181490

カラーフィルター検査装置

発明者： 曽根原 章夫 ,  土公 武行
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 小西 淳美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-085761
公開番号（公開出願番号）：特開平7-270337
出願日： 1994年03月31日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】 カラーフィルターの着色層の顔料粒子等に起因する検査光の散乱が少なく、突起欠陥の識別が容易なカラーフィルター検査装置を提供する。【構成】 カラーフィルター基板10を保持するステージ2に対して、カラーフィルター基板10の少なくとも一辺の外周に線状に、着色層の膜面12にほぼ平行に検査光を照射する膜面反射検査用光源3を配置して構成する。

請求項（抜粋）：

基板上に少なくとも着色層が形成されたカラーフィルター基板の欠陥を目視で検査するためのカラーフィルター検査装置であって、前記カラーフィルター基板を保持するステージに対して、保持された前記カラーフィルター基板の少なくとも一辺の外周に線状に配置され、着色層の膜面にほぼ平行に検査光を照射する膜面反射検査用光源を配置したことを特徴とするカラーフィルター検査装置。

IPC (4件)：

G01N 21/88 ,  G01M 11/00 ,  G01N 21/84 ,  G02B 5/20 101

引用特許：

審査官引用 (4件)

• カラーフイルターの検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-259261   出願人：シヤープ株式会社
• 特開昭64-012211
  
• 特開昭58-106444
  
• 特表2051-503244