特許

J-GLOBAL ID：200903032093307792

酸化物単結晶の作製方法

発明者： 川中 博之 ,  福山 博
出願人/特許権者： 日本ビクター株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-369613
公開番号（公開出願番号）：特開2000-313697
出願日： 1999年12月27日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
要約：

【要約】【課題】 金属Gaを用いて、製造コストが安価で、化学量論的組成を有した酸化物単結晶の作製方法を提供する。【解決手段】 粉末状の金属Ga及び酸化化合物からなる原料混合物3を乾式混合した後、白金るつぼ5内に原料混合物3を入れ、空気中で熱処理温度約500°Cで熱処理し、引き続いて、酸素中で熱処理温度約1000°Cで熱処理を行って、原料混合物3中にGa2O3を形成すると共に粉末状の原料酸化物4を作製した後、この原料酸化物4を焼成して粉末結晶7を作製し、チョクラルスキー法により、粉末結晶7を融液13として用いて、酸化物単結晶14の引き上げを行う。

請求項（抜粋）：

粉末状の金属Ga及び酸化化合物からなる原料混合物を乾式混合した後、白金るつぼ内に前記原料混合物を入れ、空気中で熱処理温度約500°Cで熱処理し、引き続いて、酸素中で熱処理温度約1000°Cで熱処理を行って、前記原料混合物中にGa2O3を形成すると共に粉末状の原料酸化物を作製した後、この原料酸化物を焼成して粉末結晶を作製し、チョクラルスキー法により、前記粉末結晶を融液として用いて、酸化物単結晶の引き上げを行うことを特徴とする酸化物単結晶の作製方法。

IPC (2件)：

C30B 29/30 ,  C30B 29/34

FI (3件)：

C30B 29/30 C ,  C30B 29/30 A ,  C30B 29/34 Z

Fターム (6件)：

4G077AA02 ,  4G077BC31 ,  4G077BC36 ,  4G077BD15 ,  4G077CF07 ,  4G077EC02