特許
J-GLOBAL ID：200903032094254765
薄型ワークの立直装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯田 昭夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-248924
公開番号（公開出願番号）：特開平11-079391
出願日： 1997年09月12日
公開日（公表日）： 1999年03月23日
要約：
【要約】【課題】 ウェハやガラス基板等の薄型ワークを水平状態から垂直状態に配置移動できる薄型ワークの立直装置を提供すること。【解決手段】 立直装置1は、機台3と機台3に対して上下方向に回動可能な支持体10と支持体10を水平状態から垂直状態に移動するシリンダ7とを有している。機台3にはウェハWをガイド支持するガイド部が配置され、支持体10には、ベース板11と、回転テーブル12が配置され、回転テーブルにアーム固着された爪部が配設されている。爪部はアームに固着されたコイルばねによってウェハWを把持し、アームの下面側に配置されたカム部と機台1に立設されたカムローラ部によって、ウェハWを把持解除する。そして、支持体10が水平状態に置かれた時に、爪部はワークの把持を解除し、垂直状態に移動する際にウェハWを把持する。
請求項（抜粋）：
水平状態に配置された薄型のワークを立直して支持する薄型ワークの立直装置であって、機台と、前記機台に支承され前記ワークを支持する支持体と、前記支持体を水平方向と垂直方向に配置移動する駆動手段と、を有して構成され、前記支持体が、前記ワークを把持可能に形成する把持手段を有し、前記把持手段が、前記ワークを把持・把持解除する駆動手段によって移動可能に構成されることを特徴とする薄型ワークの立直装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B65G 49/07 F
, H01L 21/68 S
