特許
J-GLOBAL ID：200903032102360065
真空装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-255249
公開番号（公開出願番号）：特開平8-118905
出願日： 1994年10月20日
公開日（公表日）： 1996年05月14日
要約：
【要約】【目的】 真空ポンプを有する真空装置において、真空ポンプで得られる真空差圧を利用して、キャスタを必要に応じて装置底部から突出/後退できるようにして、装置の搬送を比較的簡単な構成で実現でき、また、運搬中は装置を安定した状態で床面に載置できるようにする。【構成】 キャスタ12がエアシリンダ機構26に接続され、このエアシリンダ機構26は、キャスタ12がボックス2底面よりも引き込んだ後退位置からボックス2底面よりも突出した進出位置までの範囲にわたって摺動可能に設けられており、このエアシリンダ機構26が、このエアシリンダ機構26のシリンダ22内部圧力を切り替える圧力切替機構30に接続されている。
請求項（抜粋）：
ボックス内に真空ポンプが装備されるとともに、ボックスの下部には運搬用のキャスタが設けられている真空装置において、前記キャスタがエアシリンダ機構に接続され、このエアシリンダ機構は、キャスタがボックス底面よりも引き込んだ後退位置からボックス底面よりも突出した進出位置までの範囲にわたって摺動可能に設けられており、前記エアシリンダ機構が、このエアシリンダ機構のシリンダ内部圧力を切り替える圧力切替機構に接続されていることを特徴とする真空装置。
IPC (2件)：
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