特許

J-GLOBAL ID：200903032110748765

耐蝕性部材、その使用方法およびその製造方法

発明者： 牛越 隆介 ,  ▲昇▼ 和宏 ,  河畑 賢治
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-157336
公開番号（公開出願番号）：特開平10-087382
出願日： 1992年02月13日
公開日（公表日）： 1998年04月07日
要約：

【要約】【課題】241°C以上、特に300°C以上の温度で、解離したハロゲン系腐蝕性ガスに対して耐久性のある耐蝕性部材を提供すること。【解決手段】耐蝕性部材は、窒化アルミニウム焼結体からなる基材と、この基材の表面に生成しているアルミニウムフッ化物膜とを備えている。好ましくは、アルミニウムフッ化物が三フッ化アルミニウムである。また、耐蝕性部材を、半導体製造装置内で、解離したハロゲン系腐蝕性ガスに241°C以上、1100°C以下の温度で曝露させる使用方法を提供する。

請求項（抜粋）：

241°C以上、1100°C以下の温度領域で、解離したハロゲン系腐蝕性ガスに対して暴露される耐蝕性部材であって、窒化アルミニウム焼結体からなる基材と、この基材の表面に生成しているアルミニウムフッ化物膜とを備えていることを特徴とする、耐蝕性部材。