特許

J-GLOBAL ID：200903032111155474

硬質炭素積層膜

発明者： 織田 一彦 ,  川合 弘 ,  野村 俊雄
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 青木 秀實
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-254813
公開番号（公開出願番号）：特開平5-065625
出願日： 1991年09月04日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：

【要約】【目的】 耐摩耗部品などに用いる硬質炭素膜であって、膜厚が厚く、かつ剥離が発生し難いものを提供する。【構成】 基材上に硬質炭素膜とバッファ層を交互に積層し、最外層が硬質炭素膜となるようにする。

請求項（抜粋）：

基材上に硬質炭素膜とバッファ層とを交互に積層し、最外層が硬質炭素膜となることを特徴とする硬質炭素積層膜。

IPC (3件)：

C23C 14/06 ,  C23C 14/32 ,  C23C 16/30

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特公昭62-010301
  
• 特公昭63-005470
  
• 特開平3-146666