特許
J-GLOBAL ID：200903032111155474
硬質炭素積層膜
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青木 秀實
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-254813
公開番号（公開出願番号）：特開平5-065625
出願日： 1991年09月04日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：
【要約】【目的】 耐摩耗部品などに用いる硬質炭素膜であって、膜厚が厚く、かつ剥離が発生し難いものを提供する。【構成】 基材上に硬質炭素膜とバッファ層を交互に積層し、最外層が硬質炭素膜となるようにする。
請求項（抜粋）：
基材上に硬質炭素膜とバッファ層とを交互に積層し、最外層が硬質炭素膜となることを特徴とする硬質炭素積層膜。
IPC (3件)：
C23C 14/06
, C23C 14/32
, C23C 16/30
