特許

J-GLOBAL ID：200903032119358099

感光製版用フォトレジストカバーフイルム

発明者： 田中 茂 ,  朝倉 正芳 ,  深田 国忠
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-238173
公開番号（公開出願番号）：特開平6-083066
出願日： 1992年09月07日
公開日（公表日）： 1994年03月25日
要約：

【要約】【構成】 二軸延伸ポリオレフィンフイルム(A層)の少なくとも片面に、粗面層(B層)を積層してなる積層フイルムからなる感光製版用フォトレジストカバーフイルムであって、該粗面層(B層)は1μm以上の粗さ密度PC1が10個/mm以上であり、該積層フイルムは、複屈折率が0.002〜0.010の範囲で、トータルヘイズが10%以上で、ゲルおよびフィッシュアイが5個/100mm2 以下とする。【効果】 粗面で柔軟で平面性が良く、ゲルやフィッシュアイなどの異物突起が少なく、フォトレジストからの剥離性に優れ、またフォトレジストの保護性にも優れたフイルムが得られた。

請求項（抜粋）：

二軸延伸ポリオレフィンフイルム(A層)の少なくとも片面に、粗面層(B層)を積層してなる積層フイルムからなり、該粗面層(B層)は1μm以上の粗さ密度PC1が10個/mm以上であり、該積層フイルムは、複屈折率が0.002〜0.010の範囲で、トータルヘイズが10%以上で、ゲルおよびフィッシュアイが5個/100mm2 以下であることを特徴とする感光製版用フォトレジストカバーフイルム。

IPC (5件)：

G03F 7/11 501 ,  B29C 55/12 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 7/06 ,  B32B 27/32