特許

J-GLOBAL ID：200903032122032765

連動クライオポンプ装置

発明者： 村山 茂 ,  西場 徳二
出願人/特許権者： 三洋電機株式会社
代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-343285
公開番号（公開出願番号）：特開平6-159835
出願日： 1992年11月30日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：

【要約】【目的】 クライオポンプ装置の往復動作による振動が精密加工装置の作業空間に及ぼす悪影響を除去する。【構成】 複数の冷凍部500A・500Bの各ディスプレーサ106・108を各シリンダ105・107内に往復移動しながら加圧冷媒101の膨張冷却によって作業空間400を真空にする。各冷凍部500A・500Bの各往復動作の行程を検出各行程検出部135で検出した検出出力S1・S2を制御部300に与えて各ディスプレーサ106・108を駆動する各電動機102を制御する。各電動機102は、冷凍部500Aのディスプレーサ106・108と冷凍部500Bのディスプレーサ106・108との往復動作の行程位置の位相を、運転している複数台の数で配分した位相にずらせるように位置付けて運転する。各冷凍部のディスプレーサの往復行程の反転時の運動慣性による反動が平均化または相殺して、ディスプレーサの往復動作による振動を緩和する。

請求項（抜粋）：

ディスプレーサをシリンダ内に往復動作して冷却動作を行う冷凍部を複数台連動して運転する連動クライオポンプ装置であって、各前記冷凍部の往復動作を各個別の各電動機によって運転する各個別電動機手段と、各前記冷凍部の往復動作の各行程位置を検出して各検出出力を得る行程位置検出手段と、前記各電動機の運転を前記各検出出力にもとづいて制御することにより、各前記冷凍部の各行程位置を、運転している冷凍部の台数の数で往復動作を配分した位相ずつずらせた位置に、位置付ける電動機制御手段とを具備することを特徴とする連動クライオポンプ装置。

IPC (2件)：

F25B 9/14 510 ,  F25B 9/14 540

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平1-210765
  
• 特開昭61-017867
  
• 特開昭56-066657
  
• 特開昭61-008479