特許
J-GLOBAL ID：200903032131880949
プラズマ処理装置における放電管冷却機構
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-342517
公開番号（公開出願番号）：特開平7-169592
出願日： 1993年12月13日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：
【要約】[目的] 放電管の温度上昇を抑制して、真空シール部材の真空シール性を維持させることにより、プラズマ処理装置の長時間稼動を可能ならしめること。[構成] O-リング22aの近傍の放電管20の表面に熱伝導シート60を巻装し、その表面へ上下から水冷アルミニウム・ブロック51、52をあてがい、挟圧して固定する。
請求項（抜粋）：
プラズマ処理装置の放電管に設けられる真空シール部材の近傍において、前記放電管の外周に熱伝導シートを介して冷却体が圧接されていることを特徴とするプラズマ処理装置における放電管冷却機構。
IPC (2件)：
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