特許

J-GLOBAL ID：200903032136150868

被支持体積層支持装置

発明者： 保坂 良裕
出願人/特許権者： 株式会社ダイフク
代理人 (1件)： 北村 修一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-031090
公開番号（公開出願番号）：特開2004-241705
出願日： 2003年02月07日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：

【課題】支持体夫々の積層方向の厚みを薄くすることによる被支持体積層支持装置の軽量化。【解決手段】被支持体2の夫々を各別に載置支持する載置面6を備えた板状の支持体3を設け、それら支持体3の夫々に、載置面6に載置された被支持体2の外周縁部に接当して、被支持体2の載置面6に沿う方向での移動を規制する複数の突出部7を載置面6から突出する状態で設け、突出部7の夫々には、それが設けられた支持体3に隣接する支持体3の載置面6側への移動位置を被支持体2の厚さよりも大なる位置に規制するように、隣接する支持体3を受け止める受け部、及び、隣接する支持体3の載置面6に沿う方向での相対移動を規制するように、隣接する支持体3の被係合部と係合する係合部を設ける。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

板状の被支持体を積層状態に支持する被支持体積層支持装置であって、 前記被支持体の夫々を各別に載置支持する載置面を備えた板状の支持体が設けられ、 それら支持体の夫々には、前記載置面に載置された前記被支持体の外周縁部に接当して、前記被支持体の前記載置面に沿う方向での移動を規制する複数の突出部が、前記載置面から突出しかつ前記被支持体の外周縁部に対して分散配置される状態で設けられ、 前記突出部の夫々には、それが設けられた支持体に隣接する支持体の載置面側への移動位置を前記被支持体の厚さよりも大なる位置に規制するように、隣接する支持体を受け止める受け部、及び、隣接する支持体の前記載置面に沿う方向での相対移動を規制するように、隣接する支持体の被係合部と係合する係合部が設けられている被支持体積層支持装置。

IPC (3件)：

H01L21/68 ,  B65D85/00 ,  B65D85/86

FI (4件)：

H01L21/68 V ,  B65D85/00 F ,  B65D85/00 H ,  B65D85/38 R

Fターム (55件)：

3E068AA33 ,  3E068AB04 ,  3E068AC05 ,  3E068BB11 ,  3E068CC01 ,  3E068DD03 ,  3E068DD07 ,  3E068DD18 ,  3E068DE10 ,  3E068EE10 ,  3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BB04 ,  3E096CA03 ,  3E096CA05 ,  3E096CA06 ,  3E096CA08 ,  3E096CB03 ,  3E096DA01 ,  3E096DA02 ,  3E096DA03 ,  3E096DA09 ,  3E096DA23 ,  3E096DA25 ,  3E096DB08 ,  3E096DC01 ,  3E096DC02 ,  3E096EA02X ,  3E096EA02Y ,  3E096EA06X ,  3E096EA06Y ,  3E096FA09 ,  3E096FA10 ,  3E096FA15 ,  3E096FA16 ,  3E096FA18 ,  3E096FA23 ,  3E096FA26 ,  3E096FA27 ,  3E096FA28 ,  3E096FA29 ,  3E096FA30 ,  3E096FA31 ,  3E096GA03 ,  3E096GA11 ,  3E096GA13 ,  3E096GA14 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031DA08 ,  5F031EA09 ,  5F031EA10 ,  5F031EA19 ,  5F031PA18

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ウエーハ収容ケース
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-241599   出願人：株式会社スーパーシリコン研究所, 株式会社ボルテックスセイグン, 芝浦梱包運輸株式会社
• 半導体ウエハ収納用帯電防止容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-271983   出願人：アキレス株式会社
• ウエハー容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-201704   出願人：日本電気株式会社