特許
J-GLOBAL ID：200903032139074011
非球面研磨装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
三浦 邦夫
, 平山 巌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-264100
公開番号（公開出願番号）：特開2007-075920
出願日： 2005年09月12日
公開日（公表日）： 2007年03月29日
要約：
【課題】装置を大型化することなく、ワークのコア部の長さにかかわらず非球面の研磨が可能な非球面研磨装置を得る。【解決手段】ワーク40を保持して回転させるワークスピンドル12を備えたワーク保持部と、ポリシャー50を保持して回転させるポリシャースピンドル22を備えたポリシャー保持部が、保持したワーク40およびポリシャー50が対向した状態で配置され、上記ワーク40の研磨すべき非球面の点と上記ポリシャー50の接触角を一定に保つように、ワーク保持部が非球面の斜度に応じて揺動する非球面研磨機において、上記ワークスピンドル12またはワーク保持部を上記ワークスピンドル12の軸方向と平行に進退動させるスライド機構を設けた。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ワークを保持して回転させるワークスピンドルを備えたワーク保持部と、ポリシャーを保持して回転させるポリシャースピンドルを備えたポリシャー保持部が、保持したワークおよびポリシャーが対向した状態で配置され、上記ワークの研磨すべき非球面の点と上記ポリシャーの接触角を一定に保つように、ワーク保持部が非球面の斜度に応じて揺動する非球面研磨装置であって、
上記ワークスピンドルまたはワーク保持部を上記ワークスピンドルの軸方向と平行に進退動させるスライド機構を設けたこと、を特徴とする非球面研磨装置。
IPC (2件)：
FI (5件)：
B24B13/00 A
, B24B13/04 B
, B24B13/04 C
, B24B13/04 F
, B24B13/04 J
3C049AA06
, 3C049AA11
, 3C049AB01
, 3C049BA07
, 3C049BC01
, 3C049BC02
, 3C049CA01
, 3C049CA06
, 3C049CB07
