特許
J-GLOBAL ID：200903032144785627
窒化珪素粉末の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-350958
公開番号（公開出願番号）：特開平6-172036
出願日： 1992年12月04日
公開日（公表日）： 1994年06月21日
要約：
【要約】【目的】 不純物の混入が少なく高純度なβ-Si3 N4 粉末を製造する方法を提供する。【構成】 α-Si3 N4 粉末からなる原料をガス圧100atm以上の不活性ガス中、1800°C以上の温度で加熱することによりβ-Si3 N4 粉末を製造する。不純物の混入が少なく高純度なβ-Si3 N4 粉末を製造することができる。
請求項（抜粋）：
α-窒化珪素粉末をガス圧100atm以上の不活性ガス中、1800°C以上の温度で加熱することによりβ-窒化珪素粉末を生成することを特徴とする窒化珪素粉末の製造方法。
IPC (2件)：
C04B 35/58 102
, C01B 21/068
