特許
J-GLOBAL ID：200903032146936568
質量分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-053150
公開番号（公開出願番号）：特開2000-251831
出願日： 1999年03月01日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：
【要約】【課題】質量分析装置の中間室と測定室を仕切る隔壁上に設けられたオリフィスの口径を可変できるようにして、イオンの感度や分解能を任意に調整することのできる質量分析装置を提供する。【解決手段】試料をイオン化するイオン源と、該イオン源で生成したイオンを後段側で受け入れる中間室と、該中間室の更に後段側に置かれ、種々のイオン光学系の構成物が配置された測定室とから成る質量分析装置において、前記中間室と前記測定室を仕切る隔壁部分に、種々の口径を備えた可変式スリットを設けた。また、前記中間室と前記測定室を仕切る隔壁部分に、口径を任意に可変できる絞り穴を設けた。
請求項（抜粋）：
試料をイオン化するイオン源と、該イオン源で生成したイオンを後段側で受け入れる中間室と、該中間室の更に後段側に置かれ、種々のイオン光学系の構成物が配置された測定室とから成る質量分析装置において、前記中間室と前記測定室を仕切る隔壁部分に、種々の口径を備えた可変式スリットを設けたことを特徴とする質量分析装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 49/06
, G01N 27/62 K
