特許

J-GLOBAL ID：200903032147666068

投影露光装置

発明者： 徳田 憲昭
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-279783
公開番号（公開出願番号）：特開平9-102454
出願日： 1995年10月03日
公開日（公表日）： 1997年04月15日
要約：

【要約】【課題】 装置の大型化を招くことなく、安価でしかも高精度に投影光学系の温度調整を行なう。【解決手段】 投影光学系PLを構成する合成石英から成るレンズエレメント38が温度調整器34により、例えば±0.01°Cの精度で温度調整され、蛍石から成るレンズエレメント40が温度調整器36により例えば±0.005°Cの精度で温度制御される。従って、投影光学系を部分毎に必要とされる精度で温調することが可能になる。

請求項（抜粋）：

照明手段からの照明光により所定のパターンが形成されたマスクを照明し、前記パターンの像を投影光学系を介して感光基板上に所定の結像状態で投影する投影露光装置であって、前記投影光学系の温度又は前記投影光学系の環境温度を異なる温度調整精度で調整する少なくとも2つの温度調整手段を有する投影露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

H01L 21/30 516 E ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 502 G ,  H01L 21/30 515 D