特許

J-GLOBAL ID：200903032148358413

真空機器用アルミニウム又はアルミニウム合金材の製造法

発明者： 山口 恵太郎 ,  千葉 和郎
出願人/特許権者： 三菱アルミニウム株式会社
代理人 (1件)： 宇高 克己
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-173843
公開番号（公開出願番号）：特開平5-025694
出願日： 1991年07月15日
公開日（公表日）： 1993年02月02日
要約：

【要約】【目的】 真空環境下でのガス放出量が極めて少なく、かつ、耐食性に優れた真空機器用アルミニウム合金材を提供することである。【構成】 アルミニウム又はアルミニウム合金材を皮膜溶解性の低い電解質溶液中で定電流電解処理を行い、その後前記定電流電解処理時の電圧より高い電圧での定電圧電解処理を行う真空機器用アルミニウム又はアルミニウム合金材の製造法。

請求項（抜粋）：

アルミニウム又はアルミニウム合金材を皮膜溶解性の低い電解質溶液中で定電流電解処理を行い、その後前記定電流電解処理時の電圧より高い電圧での定電圧電解処理を行うことを特徴とする真空機器用アルミニウム又はアルミニウム合金材の製造法。

IPC (4件)：

C25D 11/04 101 ,  C23C 16/00 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/302

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-038599
  
• 特開平3-072098
  
• 特開平3-126216
  
• 特開昭54-084838