特許
J-GLOBAL ID：200903032150408118
材料表面の硬度評価方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-079596
公開番号（公開出願番号）：特開平5-281119
出願日： 1992年04月01日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：
【要約】【目的】 材料表面の硬度をナノメータ・スケールで局所的に評価する。【構成】 原子間力顕微鏡(AFM)用カンチレバーの先端に設けた探針を、評価すべき材料表面に所定の針圧で接触させる。この状態で、上記カンチレバーのたわみが一定になるようにカンチレバーと材料表面との距離を制御しつつ上記材料表面を走査して上記材料表面にくぼみを発生させる。この後、上記探針を上記材料表面に上記針圧よりも小さい針圧(最早くぼみが発生しないレベル)で接触させ、通常のAFM像を観測して上記くぼみの深さを測定する。
請求項（抜粋）：
原子間力顕微鏡用カンチレバーの先端に設けた探針を材料表面に所定の針圧で接触させた状態で、上記カンチレバーのたわみが一定になるようにカンチレバーと材料表面との距離を制御しつつ上記材料表面を走査して上記材料表面にくぼみを発生させ、上記くぼみの深さに応じて上記材料表面の硬度を求めることを特徴とする材料表面の硬度評価方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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