微細欠陥検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：原謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-106311
公開番号（公開出願番号）：特開平10-300676
出願日： 1997年04月23日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：

【要約】【課題】検査作業の効率化及び合理化を図ることができ、ひいては検査処理量の増大及び検査作業エリアの省スペース化を図る得る微細欠陥検査装置を提供する。【解決手段】カラーフィルタの微細欠陥を目視検査するための検査作業台10を備える。微細欠陥を拡大観察するためのマイクロスコープ21を前後左右に自在に移動して検査し得る欠陥拡大観察装置3が検査作業台10に設けられている。

請求項（抜粋）：

検体の微細欠陥を目視検査するための検査作業台を備えた微細欠陥検査装置において、上記微細欠陥を拡大観察するための顕微鏡を前後左右に自在に移動して検査し得る欠陥拡大観察装置が上記検査作業台に設けられていることを特徴とする微細欠陥検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/84 , G01M 11/00 , G02B 21/36

FI (3件)：

G01N 21/84 D , G01M 11/00 T , G02B 21/36

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