特許

J-GLOBAL ID：200903032153770187

磁気記録媒体の製造方法、カーボン膜評価方法およびカーボン膜評価装置

発明者： 若生 仁志 ,  西田 康代
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (3件)： 志賀 富士弥 ,  橋本 剛 ,  小林 博通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-263471
公開番号（公開出願番号）：特開2004-103108
出願日： 2002年09月10日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：

【課題】非磁性支持体上に少なくとも金属性薄膜及びカーボン保護膜を積層形成する磁気記録媒体の製造方法において、使用される環境に応じたカーボン保護膜を成膜することができるようにする。【解決手段】一方面に透明基板を付着させた厚さ2〜6nmのラマン光増強基体の他方面に厚さ3nm〜20nmのSiO2を成膜し、該SiO2膜を前記カーボン保護膜上に接触させ、レーザー励起によるラマン分光器によって、前記カーボン保護膜の表面増強ラマンスペクトルを測定し、前記測定された表面増強ラマンスペクトルに基づいて、1550cm-1以上1650cm-1以下にピークを有するラマンスペクトルの強度Gと、1350cm-1以上1450cm-1以下にピークを有するラマンスペクトルの強度Dの比(D/G)を、0.1〜1.0に保つことにより、前記カーボン保護膜の膜質を一定に制御する。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

非磁性支持体上に少なくとも金属性薄膜及びカーボン保護膜を積層形成する磁気記録媒体の製造方法において、 厚さ2〜6nmのラマン光増強基体を付着させた透明基板を前記カーボン保護膜上に接触させる工程と、 レーザー励起によるラマン分光器によって、前記カーボン保護膜の表面増強ラマンスペクトルを測定する工程と、 前記測定された表面増強ラマンスペクトルに基づいて前記カーボンの膜質を制御する制御工程と を備えたことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。

IPC (5件)：

G11B5/84 ,  C23C16/26 ,  C23C16/52 ,  G01N21/65 ,  G11B5/72

FI (6件)：

G11B5/84 C ,  G11B5/84 B ,  C23C16/26 ,  C23C16/52 ,  G01N21/65 ,  G11B5/72

Fターム (34件)：

2G043AA03 ,  2G043BA07 ,  2G043CA07 ,  2G043DA01 ,  2G043EA03 ,  2G043FA06 ,  2G043GA07 ,  2G043GB01 ,  2G043GB16 ,  2G043KA01 ,  2G043KA02 ,  2G043KA05 ,  2G043KA09 ,  2G043NA01 ,  4K030AA09 ,  4K030BA27 ,  4K030BB13 ,  4K030CA07 ,  4K030CA12 ,  4K030FA01 ,  4K030GA14 ,  4K030HA04 ,  4K030KA39 ,  4K030LA20 ,  5D006AA02 ,  5D006AA05 ,  5D006EA03 ,  5D112AA07 ,  5D112BC05 ,  5D112FA04 ,  5D112FA09 ,  5D112FB19 ,  5D112FB30 ,  5D112JJ06