電子線装置の絞り装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：土橋皓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-106761
公開番号（公開出願番号）：特開平7-320674
出願日： 1994年05月20日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：

【要約】【目的】電子線装置の絞り装置に係り、鏡筒内部を大気中に露出することなく容易に絞り板を交換することを目的とする。【構成】電子線装置の鏡筒内に配置され、電子線を絞る絞り孔1を開設した絞り板2を鏡筒内で電子線軸に対して直角な方向に移動可能に挿入されたロッド3の先端に設けた絞りホルダ4に取り付けた電子線装置の絞り装置において、絞りホルダ4を鏡筒外からの操作によりロッド3の鏡筒への挿入軸を中心として回転可能とし、複数の絞り板2を、絞りホルダ4の回転により所望の絞り板2が電子線軸上に選択して配置されるよう、絞りホルダ4にその回転中心の周囲に配設する構成とした。

請求項（抜粋）：

電子線装置の鏡筒内に配置され、電子線を絞る絞り孔(1)を開設した絞り板(2)を鏡筒内で電子線軸に対して直角な方向に移動可能に挿入されたロッド(3)の先端に設けた絞りホルダ(4)に取り付けた電子線装置の絞り装置において、絞りホルダ(4)を鏡筒外からの操作によりロッド(3)の鏡筒への挿入軸を中心として回転可能とし、複数の絞り板(2)を、絞りホルダ(4)の回転により所望の絞り板(2)が電子線軸上に選択して配置されるよう、絞りホルダ(4)にその回転中心の周囲に配設した電子線装置の絞り装置。

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