特許

J-GLOBAL ID：200903032170022232

圧電振動素子の電極構造及び製造装置

発明者： 井下 明徳 ,  佐藤 健二 ,  小峰 賢二
出願人/特許権者： 東洋通信機株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-006915
公開番号（公開出願番号）：特開2002-217675
出願日： 2001年01月15日
公開日（公表日）： 2002年08月02日
要約：

【要約】【課題】 平板型の圧電素板を用いながらも大きなエネルギー閉じ込め効果を得ることができ、不要モードを抑圧することができ、しかも電極ずれ等に起因した質量による悪影響が少ない、といった利点を備えた圧電振動素子と、その製造装置を提供する。【解決手段】 圧電素板12と、該圧電素板の主面に成膜された励振電極13と、を備えた圧電振動素子11において、励振電極は、膜厚が均一な領域13aと、該膜厚が均一な領域の周縁に位置する膜厚漸減領域13bと、から成る。

請求項（抜粋）：

圧電基板と、該圧電基板の主面に成膜された励振電極と、を備えた圧電振動素子において、前記励振電極は、膜厚が均一な領域と、該膜厚が均一な領域の周縁に位置する膜厚漸減領域と、から成ることを特徴とする圧電振動素子の電極構造。

IPC (4件)：

H03H 9/19 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H03H 3/02

FI (4件)：

H03H 9/19 F ,  H03H 3/02 B ,  H01L 41/08 L ,  H01L 41/22 Z

Fターム (6件)：

5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108DD02 ,  5J108FF02 ,  5J108KK02 ,  5J108MM14

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 加熱蒸散器用ヒータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-317104   出願人：株式会社トリカ
• 拡散器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-003970   出願人：平野睦夫