特許

J-GLOBAL ID：200903032172747420

基板用キャリア及びそれを用いる露光装置と露光方法

発明者： 小林 二郎
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 宮川 貞二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-296356
公開番号（公開出願番号）：特開平11-121603
出願日： 1997年10月14日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：

【要約】【課題】 基板用キャリア内の基板の踊りやそこからの飛び出しを防止することのできる基板用キャリアと、そのような基板用キャリアを用いる露光装置と露光方法を提供する。【解決手段】 基板を運搬するための基板用キャリアであって、少なくとも1枚の基板を収納する基板収納部3と、基板収納部3に通じる基板の出入り口101を開閉する扉11と、基板用キャリアの運搬状態を検出する検出器102と、検出器102の検出結果に基づいて扉11を開閉する開閉手段103とを有する基板用キャリア100。扉を備えるので、基板を基板用キャリア内に抑制することができる。また検出器を備え、その検出結果に基づいて扉を開閉する手段を備えるので、他に特別の開閉操作を要さず扉の開閉がなされ得る。

請求項（抜粋）：

基板を運搬するための基板用キャリアであって、少なくとも1枚の前記基板を収納する基板収納部と、前記基板収納部に通じる前記基板の出入り口を開閉する扉と、前記基板用キャリアの運搬状態を検出する検出器と、前記検出器の検出結果に基づいて前記扉を開閉する開閉手段とを有することを特徴とする基板用キャリア。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/86 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

H01L 21/68 T ,  B65D 85/38 R ,  H01L 21/30 503 E