特許

J-GLOBAL ID：200903032179587143

パッケージ基板の検査方法

発明者： 清水 賢治
出願人/特許権者： イビデン株式会社
代理人 (1件)： 山中 郁生 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-258425
公開番号（公開出願番号）：特開平10-104301
出願日： 1996年09月30日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 短時間で効率的な信頼性の高い電気的検査を行うことが可能なパッケージ基板の検査方法を提供する。【解決手段】 第1パッド2、内層パターン5、第2パッド3間に形成される第1接続状態、及び、第1パッド2、ネット状内層パターン5A、第2パッド3間に形成される第2接続状態の絶縁検査は、プローブを第2パッド3に当接した状態で行われるとともに、第1接続状態及び第2接続状態の導通検査は、プローブを第2パッド3に当接し、且つ、第1パッド2の全体に渡って導電性ゴムシートを接触した状態で行われ、更に、各第1パッド2と内層パターン5間で形成される第3接続状態の導通検査・絶縁検査は、フライングプローブを第1パッド2に当接して行われる。

請求項（抜粋）：

複数の第1パッドと複数の第2パッドが形成されたパッケージ基板の電気的検査を行う検査方法において、前記第2パッドにフィクスチャープローブを当接した状態でプローブに検出信号を出力し、プローブを介して検出される検出信号に基づき検査を行う工程と、前記第2パッドにフィクスチャープローブを当接するとともに第1パッド同志をショートさせた状態でプローブに検出信号を出力し、プローブを介して検出される検出信号に基づき検査を行う工程と、前記第2パッド面側に電極板を設置した状態で、前記各工程で検査の対象とならないパターン毎にそのパターンと電極板との間で発生するコンデンサ容量を計算し、その計算されたコンデンサ容量の計算値が所定閾値よりも大きい場合には前記第1パッドに対してフライングプローブを当接した状態でフライングプローブに検出信号を出力するとともに電極板を介して検出されるコンデンサ容量値に基づき容量検査を行い、前記計算されたコンデンサ容量の計算値が所定閾値よりも小さい場合には第1パッドに対してフライングプローブを当接した状態でフライングプローブに検出信号を出力するとともにフライングプローブを介して検出される抵抗値に基づき抵抗検査を行う工程とからなるパッケージ基板の検査方法。