特許

J-GLOBAL ID：200903032185205589

石英ルツボ収納装置及びサセプタ位置合わせ装置並びに石英ルツボ収納方法

発明者： 松原 順一 ,  山岸 浩利
出願人/特許権者： 株式会社スーパーシリコン研究所
代理人 (1件)： 二瓶 正敬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-080289
公開番号（公開出願番号）：特開平11-255581
出願日： 1998年03月12日
公開日（公表日）： 1999年09月21日
要約：

【要約】【課題】 大重量かつ大径の石英ルツボを、人力を用いずに、かつ汚染の影響を受けることなく、かつ容易に石英ルツボとサセプタとを同軸な状態としてスムースにサセプタ内に収納することができる石英ルツボ収納装置及び石英ルツボ収納方法を提供する。【解決手段】 石英ルツボ50を、その開口部近傍で外方から挟み込んで保持するハンド装置32と、石英ルツボの下方のサセプタ60の位置を調整可能とする位置制御手段62、76、78を設けることにより、石英ルツボに対してサセプタを同軸に配置できる。

請求項（抜粋）：

石英ルツボをサセプタに収納する石英ルツボ収納装置であって、前記石英ルツボを載置する手段と、前記石英ルツボを載置する手段を昇降させる手段と、前記石英ルツボを、その開口部近傍で外方から挟み込んで保持することが可能なハンド装置と、前記石英ルツボの下方に位置するサセプタのX、Y位置を調整可能な位置制御手段とを、有する石英ルツボ収納装置。

IPC (2件)：

C30B 15/10 ,  C30B 29/06 502

FI (2件)：

C30B 15/10 ,  C30B 29/06 502 B