特許
J-GLOBAL ID：200903032185698062
レーザ加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-258064
公開番号（公開出願番号）：特開平5-096388
出願日： 1991年10月04日
公開日（公表日）： 1993年04月20日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、多層構造の被加工物に対し、構成が簡単で安価な精度の良いレーザ加工装置を得る。【構成】主パルスレーザビームを射出するレーザ発振器1Aと、主パルスレーザビームを第1のパルスレーザビームと第2のパルスレーザビームに分割する光分割器11と、第2のパルスレーザビームが供給され、第2のパルスレーザビームを第1のパルスレーザビームに対して遅延する光バイパス路15と、第1のパルスレーザビームが被加工物4に照射された後第2のパルスレーザビームを被加工物4に照射し、この被加工物4によって反射された第2のパルスレーザビームの強度を測定する計測手段3、9、16を設ける。
請求項（抜粋）：
主パルスレーザビームを射出するレーザ発振器と、上記主パルスレーザビームを第1のパルスレーザビームと第2のパルスレーザビームに分割する光分割器と、上記第2のパルスレーザビームが供給され、該第2のパルスレーザビームを上記第1のパルスレーザビームに対して遅延する光バイパス路と、上記第1のパルスレーザビームが被加工物に照射された後上記遅延した第2のパルスレーザビームを上記被加工物に照射し、該被加工物によって反射された第2のパルスレーザビームの強度を測定する計測手段とを備えたことを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (4件)：
B23K 26/02
, B23K 26/00
, H01S 3/00
, H01S 3/101
