特許

J-GLOBAL ID：200903032194348937

搬送方法及び搬送装置、並びに露光装置

発明者： 菊地 秀和
出願人/特許権者： 株式会社仙台ニコン ,  株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-117460
公開番号（公開出願番号）：特開2000-306977
出願日： 1999年04月26日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】 搬送対象物の載置面がステージの上面より低い位置にある場合であっても、支障無く搬送対象物をその載置面に載置できるようにする。【解決手段】 搬送アーム70によって対象物45が運ばれてくる受け渡し位置の上方に、上下動及び回転が可能な3本の支持部材48cを備えたエレベータユニット26が配置されている。対象物45が受け渡し位置まで搬送されると、支持部材48cが位置P3まで下降した後、所定角度αだけ回転し、僅かに上昇して対象物45をアーム70から受け取る。アームが退避すると、支持部材48cがステージRSTの所まで下降して、ステージ上に対象物45を載置し、支持部材48cが前と反対方向に所定角度αだけ回転した後、位置P2まで上昇する。このため、対象物の載置面がステージの上面より低い位置にある場合であっても、支障無く搬送対象物をその載置面に載置できる。

請求項（抜粋）：

ステージとの間で搬送対象物の受け渡しを行う搬送方法であって、複数の支持部材により前記搬送対象物の一方の面を支持する第1工程と;前記複数の支持部材に支持された前記搬送対象物を前記ステージ上に搬入する第2工程と;前記搬送対象物を前記ステージ上に搬入した後、前記搬送対象物の他方の面側へ前記複数の支持部材を退避する第3工程とを含む搬送方法。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

H01L 21/68 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 502 J ,  H01L 21/30 515 F

Fターム (34件)：

5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031DA13 ,  5F031FA12 ,  5F031GA06 ,  5F031HA09 ,  5F031HA13 ,  5F031HA16 ,  5F031JA02 ,  5F031JA38 ,  5F031JA50 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F046BA05 ,  5F046BA07 ,  5F046CA04 ,  5F046CA10 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC09 ,  5F046CC16 ,  5F046CC18 ,  5F046CD02 ,  5F046CD04 ,  5F046CD06 ,  5F046DA05 ,  5F046DB05 ,  5F046EB03 ,  5F046FA10 ,  5F046FA17 ,  5F046FC06 ,  5F046GA03 ,  5F046GA12