特許

J-GLOBAL ID：200903032202323612

静電チャックデバイス

発明者： 梅津 基宏 ,  石井 守 ,  石田 弘徳 ,  和田 千春
出願人/特許権者： 太平洋セメント株式会社
代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-103635
公開番号（公開出願番号）：特開2000-299371
出願日： 1999年04月12日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：

【要約】【課題】 プラズマ処理により静電チャックに反りが発生しても、冷却台座の静電チャック冷却能力が維持される静電チャックデバイスを提供すること。【解決手段】 電極3と、その上に設けられた絶縁層2とを有し、絶縁層上に被吸着体10を静電吸着する静電チャック1と、静電チャック1を冷却する冷却台座4と、静電チャック1と前記冷却台座4との間に設けられた変形能を有するシート7とにより静電チャックデバイスが構成される。

請求項（抜粋）：

電極と、その上に設けられた絶縁層とを有し、電極に電圧を印加することにより、絶縁層上に被吸着体を静電吸着する静電チャックと、前記静電チャックを冷却する冷却台座と、前記静電チャックと前記冷却台座との間に設けられた変形能を有するシートとを具備することを特徴とする静電チャックデバイス。

IPC (6件)：

H01L 21/68 ,  B05C 11/08 ,  B05D 1/40 ,  B23Q 3/15 ,  H01L 21/027 ,  H02N 13/00

FI (6件)：

H01L 21/68 R ,  B05C 11/08 ,  B05D 1/40 A ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D ,  H01L 21/30 503 C

Fターム (12件)：

3C016GA10 ,  4D075AC64 ,  4D075AC96 ,  4D075DC22 ,  4F042AA07 ,  4F042EB09 ,  4F042EB30 ,  5F031CA02 ,  5F031HA16 ,  5F031HA38 ,  5F046AA21 ,  5F046CC08