遮光膜で被覆された透過窓を有するプラズマ処理装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西山恵三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-215286
公開番号（公開出願番号）：特開2002-164330
出願日： 2001年07月16日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：

【要約】【課題】処理速度の低下を抑え、信頼性の高いプラズマ処理装置を用いてプラズマ処理を施し、再現性に優れた構造体の製造方法を提供する。【解決手段】内部が排気可能な容器(1)と、前記容器内に処理ガスを供給するガス供給口(17)とを有し、前記容器内に配された被処理体(W)にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、前記容器内に前記ガスのプラズマを発生させるための高周波エネルギーを透過する透過窓(4)の内面に、該透過窓の誘電体損失を増大させ得る光の該誘電体窓への入射を妨げる遮光膜(45)が設けられていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

内部が排気可能な容器と、前記容器内に処理ガスを供給するガス供給口とを有し、前記容器内に配された被処理体にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、前記容器内に前記ガスのプラズマを発生させるための高周波エネルギーを透過する透過窓の内面に、該透過窓の誘電体損失を増大させ得る光の該誘電体窓への入射を妨げる遮光膜が設けられていることを特徴とするプラズマ処理装置。

IPC (11件)：

H01L 21/3065 , B01J 19/08 , C23C 16/44 , C23C 16/511 , C23F 4/00 , G02B 1/10 , G02B 5/22 , G02B 5/26 , G02B 5/28 , H01L 21/31 , H05H 1/46

FI (11件)：

B01J 19/08 H , C23C 16/44 Z , C23C 16/511 , C23F 4/00 A , G02B 5/22 , G02B 5/26 , G02B 5/28 , H01L 21/31 C , H05H 1/46 B , H01L 21/302 B , G02B 1/10 Z

Fターム (93件)：

2H048CA01 , 2H048CA05 , 2H048CA09 , 2H048CA14 , 2H048CA17 , 2H048FA01 , 2H048FA05 , 2H048FA07 , 2H048FA09 , 2H048FA15 , 2H048FA24 , 2H048GA01 , 2H048GA04 , 2H048GA07 , 2H048GA09 , 2H048GA34 , 2H048GA60 , 2H048GA61 , 2K009BB11 , 2K009CC02 , 2K009CC03 , 2K009CC06 , 2K009CC14 , 2K009DD04 , 2K009DD09 , 2K009EE00 , 4G075AA30 , 4G075AA62 , 4G075AA65 , 4G075BA05 , 4G075BA06 , 4G075BC02 , 4G075BC04 , 4G075BC06 , 4G075BC10 , 4G075BD14 , 4G075CA26 , 4G075CA47 , 4G075EC14 , 4G075FB04 , 4K030AA06 , 4K030AA14 , 4K030AA18 , 4K030BA40 , 4K030BA44 , 4K030CA04 , 4K030FA01 , 4K030KA37 , 4K030KA47 , 4K030LA15 , 4K057DA01 , 4K057DB01 , 4K057DB06 , 4K057DD01 , 4K057DE06 , 4K057DE20 , 4K057DM02 , 4K057DM29 , 4K057DN01 , 5F004AA01 , 5F004BA03 , 5F004BA14 , 5F004BA20 , 5F004BB11 , 5F004BB14 , 5F004BB18 , 5F004BB30 , 5F004BB31 , 5F004BD01 , 5F004BD04 , 5F004CA02 , 5F004CA04 , 5F004DA23 , 5F004DA26 , 5F004DB02 , 5F004DB03 , 5F004DB26 , 5F045AA09 , 5F045AB32 , 5F045AB33 , 5F045AC01 , 5F045AC11 , 5F045AC15 , 5F045AD07 , 5F045AE17 , 5F045AF03 , 5F045AF07 , 5F045BB03 , 5F045DP03 , 5F045DQ10 , 5F045EB03 , 5F045EH03 , 5F045EH07

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