特許

J-GLOBAL ID：200903032219815020

ウエーハの自動位置合わせ装置

発明者： 藤田 年男
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 榮祐
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-126713
公開番号（公開出願番号）：特開平5-136249
出願日： 1991年04月30日
公開日（公表日）： 1993年06月01日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明は接触針を植設したプローブカードをウェーハのチップパッドと接触可能に自動的に位置合わせする装置に関し、機械的自動操作によりウェーハに対するプローブカードの位置合わせを行い、個人差が無く、短時間で処理のできる位置合わせ装置を提供することを目的とする。【構成】 プローブヘッド20上に設置された第1カメラ23により、ステージ10上のウェーハ・パッド14の中心座標を読取り、別にステージ上に設けた第2カメラ15によりプローブカード21上の接触針22の先端座標を読取る。これら座標値について演算し、接触針先端が前記パッド中心に位置するように、ステージ移動装置に移動量を与えることを自動的に行う。

請求項（抜粋）：

ステージ(10)上に載置されたウェーハ(11)の各チップ(13)上のパッド(14)に接触可能な複数本の接触針(22-1)(22-2)〜を植設したプローブカード(21)と、該プローブカード(21)中央部から前記ウェーハ(11)を観察可能に取付けた第1カメラ(23)とを具備するプローバヘッド(20)が、前記ステージ(10)と並行的に移動可能に設定され、プローブカード(21)の接触針(22-1)(22-2)〜をウェーハの各チップ(13)上のパッド(14)に接触させるように位置合わせを行う装置において、プローブヘッド(20)の第1 カメラ(23)をプローブカード(21)の側方に設け、ステージ(10)上に設けプローブカード(21)方向を観察する第2カメラ(15)と、第1カメラ(23)によりステージ(10)上に載置されたウェーハ(11)の各パッド(14)の中心座標を読取った値を格納する格納部(24)と、第2カメラ(15)によりプローブカード(21)の接触針(22-1)(22-2)〜先端の座標を読取った値を格納する格納部(16)と、前記両格納部の座標値を演算する演算部(17)と、演算結果に基づいてステージを移動させる移動装置(18)と、で構成することを特徴とするウェーハの自動位置合わせ装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  G01R 1/073

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-119036
  
• 特開昭59-017260
  
• 特開平1-143983