特許

J-GLOBAL ID：200903032227103978

多層膜反射鏡およびEUV露光装置

発明者： 村上 勝彦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 渡部 温 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-321031
公開番号（公開出願番号）：特開2002-131487
出願日： 2000年10月20日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：

【要約】【課題】 多層膜反射鏡の反射波面を所定の形状にするために多層膜の表面からおよそ一層づつ除去する方法があるが、除去した境界で表面が凹凸状態になり予期せぬ回折現象が生じる。【解決手段】 除去する際に境界部に段差が生じないような方法で除去する。具体的にはたとえが、スモールツール法やイオンビーム加工法である。

請求項（抜粋）：

屈折率の異なる二種類の物質が交互に所定の周期長で積層されてなる多層膜の一部を表面からおよそ一層対ずつ除去することによって、反射波面の位相を均一に補正してなる多層膜反射鏡において、多層膜を除去した部分の境界に段差が生ぜず、滑らかになっていることを特徴とする多層膜反射鏡。

IPC (5件)：

G21K 1/06 ,  G02B 5/08 ,  G03F 7/20 503 ,  G21K 5/02 ,  H01L 21/027

FI (8件)：

G21K 1/06 B ,  G21K 1/06 C ,  G21K 1/06 D ,  G02B 5/08 A ,  G02B 5/08 C ,  G03F 7/20 503 ,  G21K 5/02 X ,  H01L 21/30 531 A

Fターム (13件)：

2H042DA12 ,  2H042DB02 ,  2H042DB14 ,  2H042DC08 ,  2H042DC09 ,  2H042DD04 ,  2H042DD10 ,  2H042DE00 ,  2H097CA06 ,  2H097CA15 ,  2H097LA10 ,  5F046GA03 ,  5F046GB01