特許

J-GLOBAL ID：200903032236894910

基板ハンドリング装置

発明者： 山本 洋一郎
出願人/特許権者： 平田機工株式会社
代理人 (1件)： 井上 元廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-146421
公開番号（公開出願番号）：特開2003-338532
出願日： 2002年05月21日
公開日（公表日）： 2003年11月28日
要約：

【要約】【課題】 基板の面や把持部に傷やパーティクルが付くことがなく、隣接する基板間の狭いところに出し入れすることができ、基板のセンタリングが容易で、構造もシンプルで、安価に製作できる基板ハンドリング装置を提供する。【解決手段】 基板ハンドリング装置10が、基板7を保持するための保持ヘッド11を備え、保持ヘッド11の内部の中央部には、回転伝達部材60が回転可能に軸着され、回転伝達部材60の周囲には、少なくとも3つ以上の把持アーム14が円周方向に間隔を置いて回転可能に軸着され、把持アーム14は、回転伝達部材60と係合して、回転伝達部材60の回転により伸縮開閉動するようにされており、把持アーム14の先端には、基板7を把持するためのグリップ15が取り付けられ、グリップ15は、把持アーム14が縮んで閉じた状態にあるとき、基板7を把持し、把持アーム14が伸びて開いた状態にあるとき、基板7を解放するようにされている。また、把持アーム14が回転伝達部材60の回転により縮小閉鎖動するのを助ける弾性部材70が介在させられている。

請求項（抜粋）：

基板ハンドリング装置が、基板を保持するための保持ヘッドを備え、前記保持ヘッドの内部の中央部には、回転伝達部材が回転可能に軸着され、前記回転伝達部材の周囲には、少なくとも3つ以上の複数の把持アームが円周方向に間隔を置いて回転可能に軸着され、前記把持アームは、前記回転伝達部材と係合して、前記回転伝達部材の回転により伸縮開閉動するようにされており、前記把持アームの先端には、前記基板を把持するためのグリップが取り付けられ、前記グリップは、前記把持アームが縮んで閉じた状態にあるとき、前記基板を把持し、前記把持アームが伸びて開いた状態にあるとき、前記基板を解放するようにされていることを特徴とする基板ハンドリング装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/00 ,  B25J 15/08 ,  B65G 49/07

FI (5件)：

H01L 21/68 A ,  B25J 15/00 F ,  B25J 15/08 D ,  B25J 15/08 K ,  B65G 49/07 F

Fターム (35件)：

3C007DS01 ,  3C007ES05 ,  3C007ET03 ,  3C007EU02 ,  3C007EU05 ,  3C007EU07 ,  3C007EU14 ,  3C007EV04 ,  3C007EW16 ,  3C007HS27 ,  3C007KS30 ,  3C007KX07 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031GA10 ,  5F031GA14 ,  5F031GA15 ,  5F031GA35 ,  5F031GA36 ,  5F031GA38 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031JA01 ,  5F031JA22 ,  5F031KA02 ,  5F031KA11 ,  5F031LA14 ,  5F031LA16 ,  5F031NA02 ,  5F031NA14 ,  5F031NA18