ガス分解処理方法、並びに大気圧プラズマによる排ガス処理装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金田暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-057172
公開番号（公開出願番号）：特開2001-247485
出願日： 2000年03月02日
公開日（公表日）： 2001年09月11日
要約：

【要約】【課題】工業工程などから排出される揮発性有機化合物を含有する気体を分解処理する場合の最適な方法及び装置を提供する。【解決手段】揮発性有機化合物を含有するガスを非平衝プラズマを利用し、分解処理する場合、有機化合物を含有するガスに酸化効果の高いオゾンや過酸化水素などの酸化剤を混合することにより、高分解率での分解処理を可能とする。また、電極間距離を保ち、装置面積の縮小を可能にするために反応流路を邪魔板の配設により蛇行させる。

請求項（抜粋）：

揮発性有機化合物(VOC)を含む気体をプラズマ放電による分解手段を用いて処理する方法であって、次の(I)および/または(II)の特徴を有することで、分解を促進し、排気中の残留VOCや中間生成物などの有害物質の量を低減することを特徴とする、プラズマ放電による揮発性有機化合物の分解処理方法。(I)該VOCを含む気体中に酸化剤を混合すること(II)該プラズマ放電が大気圧プラズマであって、分解反応装置が、密閉式で排ガス出入口を有し、該装置内の対向する面に平行に配置された電極と、電極間に強誘電体が充填され、かつ、装置内に、対向する電極から延びる邪魔板が交互に配設されていること

IPC (11件)：

C07B 35/06 , A62D 3/00 , B01D 53/34 ZAB , B01D 53/44 , B01D 53/68 , B01J 19/08 , C07B 37/06 , C07C 15/04 , C07C 19/03 , C07C 31/04 , C07C 31/08

FI (11件)：

C07B 35/06 , A62D 3/00 , B01J 19/08 E , C07B 37/06 , C07C 15/04 , C07C 19/03 , C07C 31/04 , C07C 31/08 , B01D 53/34 ZAB , B01D 53/34 117 Z , B01D 53/34 134 Z

Fターム (29件)：

2E191BA11 , 2E191BD11 , 2E191BD18 , 4D002AA21 , 4D002AA33 , 4D002AA40 , 4D002BA07 , 4D002CA07 , 4D002DA04 , 4D002DA21 , 4D002DA51 , 4D002DA52 , 4G075AA03 , 4G075BA05 , 4G075BA06 , 4G075CA15 , 4G075CA47 , 4G075EB01 , 4G075EB42 , 4G075EC09 , 4G075EC21 , 4G075FC15 , 4H006AA05 , 4H006AC13 , 4H006AC26 , 4H006BE31 , 4H006BE32 , 4H006EA02 , 4H006FE11

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