光画像計測装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三澤正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-100741
公開番号（公開出願番号）：特開2005-283471
出願日： 2004年03月30日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
要約：

【課題】被測定物体の複数の深さ領域の画像を並列取得可能な光画像計測装置を提供する。【解決手段】光ビームを信号光Sと参照光Rに分割するビームスプリッタ4と、参照光Rを複数の干渉光R1〜Rnに分割するビームスプリッタ5-1〜5-(n-1)と、参照光R1〜Rnの周波数を各々異なる量だけシフトする周波数シフタ6-1〜6-nと、被測定物体Oに対する距離が各々異なるように配置された反射板7-1〜7-nとを含む。参照光R1〜Rnと深さ領域D1〜Dnで反射された信号光Sとはビームスプリッタ4により重畳され干渉光Lを生成する。シャッタ9-1〜9-3は干渉光Lから干渉光成分L1〜Lnを抽出し、CCDカメラ10-1〜10-3はその干渉光成分を受光し電気信号として出力する。コンピュータ20はその電気信号を基に当該干渉光成分に対応する深さ領域の画像を形成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光ビームを出射する光源と、この光源からの光ビームを基に、被測定物体の深さ領域毎に異なる周波数を有する複数の干渉光成分を含んだ干渉光を生成する干渉系と、前記生成された干渉光から前記各干渉光成分を選択的に検出する検出系と、前記検出された前記各干渉光成分に基づいて、当該各干渉光成分に対応する前記深さ領域における前記被測定物体の画像を形成する画像形成手段と、を備えていることを特徴とする光画像計測装置。

IPC (2件)：

G01N21/17 , G01B11/00

FI (2件)：

G01N21/17 630 , G01B11/00 G

Fターム (39件)：

2F065BB21 , 2F065FF51 , 2F065GG01 , 2F065GG21 , 2F065HH03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ19 , 2F065LL04 , 2F065LL12 , 2F065LL30 , 2F065LL57 , 2F065NN08 , 2F065UU05 , 2F065UU07 , 2G059AA05 , 2G059AA06 , 2G059BB12 , 2G059CC16 , 2G059EE01 , 2G059EE02 , 2G059EE09 , 2G059FF01 , 2G059FF09 , 2G059GG01 , 2G059GG02 , 2G059GG08 , 2G059GG10 , 2G059HH01 , 2G059JJ11 , 2G059JJ13 , 2G059JJ17 , 2G059JJ18 , 2G059JJ22 , 2G059JJ23 , 2G059KK03 , 2G059KK04 , 2G059MM01 , 2G059MM10 , 2G059PP04

引用特許：

出願人引用 (2件)

2次元光ヘテロダイン検出法を用いた光画像計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-153919 出願人：科学技術振興事業団
特許第3245135号(請求項、明細書段落[0072]-[0082])

審査官引用 (5件)

光学測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-073917 出願人：興和株式会社
2次元光ヘテロダイン検出法を用いた光画像計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-153919 出願人：科学技術振興事業団
特許第3245135号

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