特許
J-GLOBAL ID：200903032247135132
プラズマ発生装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中川 邦雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-180007
公開番号（公開出願番号）：特開2001-357999
出願日： 2000年06月15日
公開日（公表日）： 2001年12月26日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、マイクロ波の如く高周波電波放電を利用したプラズマ発生装置の改良に関するものである。【構成】 本発明は、高周波電波を発生する発振手段と、この発振手段により発生した高周波電波を処理する回路手段と、この回路手段によって処理された高周波電波を伝送する伝送手段と、この伝送手段によって伝送された高周波電波を用いてプラズマを発生させるプラズマ発生手段とからなり、このプラズマ発生手段が、内部に前記伝送された高周波電波の電解成分と磁界成分を閉じ込める空胴共振器と、該空胴共振器である空洞容器内に設けられた前記高周波の電解成分との間に集中電界を形成させるプラズマ励起部材が、空洞容器内に垂直に立てられ、先端にステンレスねじを設けた銅丸棒と、該銅丸棒の先端下部に該銅丸棒に対し垂直に設けられたタングステン又は銅棒である金属片とから構成されていることを特徴とするプラズマ発生装置である。
請求項（抜粋）：
高周波電波を発生する発振手段と、この発振手段により発生した高周波電波を処理する回路手段と、この回路手段によって処理された高周波電波を伝送する伝送手段と、この伝送手段によって伝送された高周波電波を用いてプラズマを発生させるプラズマ発生手段とからなり、このプラズマ発生手段が、内部に前記伝送された高周波電波の電解成分と磁界成分とを閉じ込める空胴共振器と、該空胴共振器である空洞容器内に設けられた前記高周波の電解成分との間に集中電界を形成させるプラズマ励起部材が、空洞容器内に垂直に立てられ、先端にステンレスねじを設けた銅丸棒と、該銅丸棒の先端下部に該銅丸棒に対し垂直に設けられたタングステン又は銅棒である金属片とから構成されていることを特徴とするプラズマ発生装置。
IPC (3件)：
H05H 1/24
, H05H 1/46
, C23C 16/505
H05H 1/24
, H05H 1/46 B
, C23C 16/505
4K030FA01
, 4K030KA30
, 4K030KA32
, 4K030KA34
