特許
J-GLOBAL ID：200903032250968188

固体撮像素子

発明者：
川端 誠司

川端 誠司 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-263710
公開番号（公開出願番号）：特開2009-094299
出願日： 2007年10月09日
公開日（公表日）： 2009年04月30日
要約：
【課題】画素領域が大きくても、画素領域における中央部と周辺部との間の信号出力値の差をより一層低減することができる固体撮像素子を提供する。【解決手段】固体撮像素子は、複数の画素が2次元状に配置された画素領域10と、複数の画素を駆動する回路を含み画素領域10の周辺に配置された周辺回路領域とを有する。画素領域10及び周辺回路領域は、電極層60及び3階層の配線層61〜63をそれぞれ含む。配線層61〜63とそれぞれ同一の階層に、各画素のフォトダイオード15上の領域において、可視光領域の波長を透過する透明材料からなる層100,110,120がそれぞれ形成される。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
入射光に応じた信号電荷を生成する光電変換部を有する複数の画素が2次元状に配置された画素領域と、前記複数の画素を駆動する回路を含み前記画素領域の周辺に配置された周辺回路領域とを有し、前記画素領域及び前記周辺回路領域が電極層及び1階層以上の配線層をそれぞれ含む固体撮像素子であって、 前記電極層及び前記1階層以上の配線層のうちの少なくとも1階層の層と同一の階層に、前記各画素の前記光電変換部上の領域において、可視光領域の波長を透過する透明材料からなる第1の層が形成されたことを特徴とする固体撮像素子。
IPC (2件)：
H01L 27/146 ,  H01L 31/10
FI (2件)：
H01L27/14 A ,  H01L31/10 A
Fターム (15件)：
4M118AB01 ,  4M118BA14 ,  4M118CA04 ,  4M118CA32 ,  4M118CB14 ,  4M118DD04 ,  4M118DD12 ,  4M118FA28 ,  4M118FA33 ,  5F049MA01 ,  5F049MB03 ,  5F049NA20 ,  5F049NB03 ,  5F049NB05 ,  5F049SE02
引用特許：
出願人引用 (4件)
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