焦点合わせ装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-264792
公開番号（公開出願番号）：特開平5-107057
出願日： 1991年10月14日
公開日（公表日）： 1993年04月27日
要約：

【要約】【目的】対象物に対し、敏速で正確に焦点を合わせる焦点合わせ装置を提供する。【構成】本発明の焦点合わせ装置は、測定用光線束が対物レンズを通して対象物に照射される。そして、対象物からの反射光は、振動しているピンホールを通過し受光素子に照射される。このとき、受光素子の受光量は対物レンズと対象物との距離及びピンホールの位置により変化する。そして、CPUは、受光素子の受光量とピンホールの位置から焦点ずれを検出し、その検出結果に従い、モータは前記対象物と前記対物レンズの離隔を変更すべく動作する。

請求項（抜粋）：

対象物の表面形状を観察あるいは撮像する光学機器の該対象物に対する焦点を合わせる焦点合わせ装置に於いて、前記光学機器の対物レンズを光軸として、前記対象物に測定用光線束を照射する光源と、前記対象物からの反射光の光路を制限する光路規制手段と、前記対象物からの反射光の光量を変化させるために、光路規制手段を振動させる振動手段と、その振動手段により振動される光路規制手段の位置を検出する位置検出手段と、前記光路規制手段を通過した反射光を受光する受光素子と、前記位置検出手段の検出結果と前記受光素子の受光量に応じて焦点位置のずれを演算する焦点ずれ検出手段と、その焦点ずれ検出手段の検出結果に応じて、前記対象物と前記対物レンズとの間の距離を変更する離隔変更手段とを備えたことを特徴とする焦点合わせ装置。

IPC (2件)：

G01C 3/06 , G02B 7/28

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭48-065957
特開平3-209122
特開昭48-065957

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