特許
J-GLOBAL ID：200903032271513717
X線回折測定及び蛍光X線測定のためのX線装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
横川 邦明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-181714
公開番号（公開出願番号）：特開平11-014566
出願日： 1997年06月23日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：
【要約】【課題】 X線回折測定及び蛍光X線測定の両方を行うX線装置において、蛍光X線測定用のX線検出器の配設の仕方に改善を加えて、両方の測定の測定精度を向上する。【解決手段】 X線を放射するX線源1と、試料8で回折するX線を検出するX線カウンタ6と、試料8から発生する蛍光X線を検出するSSD23と、試料軸線ωを中心として試料8をX線源1に対してθ回転させるθ回転駆動系9と、試料軸線ωを中心としてX線カウンタ6をX線源1に対して2θ回転させる2θ回転駆動系11とを有するX線装置である。X線源1と試料8との間のθ回転及びX線源1とX線カウンタ6との間の2θ回転に連動して、SSD23を試料8に近づけ又は遠ざけるように移動させる。こうしてSSD23をX線光学系に対して進退移動させる。
請求項（抜粋）：
X線を放射するX線源と、試料で回折するX線を検出する回折X線検出器と、試料から発生する蛍光X線を検出する蛍光X線検出器と、試料軸線を中心として試料をX線源に対して相対的にθ回転させるθ回転駆動系と、試料軸線を中心として回折X線検出器をX線源に対して相対的に2θ回転させる2θ回転駆動系とを有するX線装置において、X線源と試料との間のθ回転及びX線源と回折X線検出器との間の2θ回転の少なくとも1つの回転に連動して、蛍光X線検出器を試料に近づけ又は遠ざけるように移動させることを特徴とするX線装置。
IPC (2件)：
G01N 23/207
, G01N 23/223
G01N 23/207
, G01N 23/223
