現場実時間面積抵抗測定センサシステム及び測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅村皓 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-230358
公開番号（公開出願番号）：特開平6-177217
出願日： 1992年08月28日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：

【要約】【目的】静電チャック内に埋設した多数の電極を選択使用しウェーハを静的に支持しかつこれに高周波励起信号を印加し、応答誘導信号を抽出し、これらの信号からウェーハ導電層面積抵抗を実時間測定してプロセス制御に供する。【構成】測定センサシステム20において、静電チャック30は、加熱/冷却モジュール32で温度制御され、複数の分布電極101〜111を、例えば、同心円パターンに埋設し、スペーサ36で絶縁し、スルーホール38を通る電線の接続点1〜12で電源又はセンサに接続し、一部の電極をチャック電極とし低周波電圧印加の下に半導体ウェーハ22を静電的に支持し、残りの電極をセンサ電極として高周波励起信号を印加し、ウェーハ22に誘導信号を生じ、これらの励起信号と誘導信号からウェーハ22の導電層の半径又は周方向面積抵抗をプロセス中に測定してプロセス制御器に帰還する。

請求項（抜粋）：

電気的面積抵抗センサを備えるチャックであって、半導体ウェーハを支持するチャック本体と、前記チャック本体の表面に形成されたしかし前記表面から電気的に絶縁された少なくとも2つの電極であって、前記ウェーハの裏側表面に電気的に結合された前記電極と、前記ウェーハの上側表面上の面積抵抗に基づく電気信号を受信するために前記電極に接続された回路要素と、を包含するチャック。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭63-258036
特開昭61-056842

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